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依托半導體高端設備研制，通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊，建立電子裝備的產業化經營格局
主要應用(yong)于新型(xing)材料的(de)升華提純、電子(zi)陶瓷產品的(de)預燒結、退火等領域(yu)，也可作為CVD鍍(du)膜(mo)設備使用(yong)，可以(yi)外置等離子(zi)體發生裝置。
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應用范圍：
主要應用于(yu)新型(xing)材料的升(sheng)華提(ti)純(chun)、電子(zi)陶瓷產品(pin)的預燒結、退火等領域，也可作為CVD鍍膜(mo)設(she)備使用，可以外置等離(li)子(zi)體發生裝置。
產品特點：
■ 全自動控制，設備密封性可靠；
■ 溫(wen)控精度高，取放(fang)樣品方便；
■ 可外(wai)置等(deng)離子體發(fa)生器，用(yong)途廣泛。
