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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
主(zhu)要應用于(yu)2-8英(ying)寸半導體晶圓、掩膜板(ban)、各種基(ji)片等材(cai)料的高潔凈度沖(chong)洗及干燥工藝。
主要應用于原料(liao)、輔料(liao)的清洗工藝(yi)環節。
主要應用于石英管真空封焊工藝(yi)(yi)、快速退火工藝(yi)(yi)。
可分(fen)別(bie)與特種燈(deng)生產設備、激光設備、真(zhen)空鍍膜設備、真(zhen)空烘箱、水氧顯示系統、煙塵過濾系統、溶劑純(chun)化系統、氣體(ti)凈(jing)化系統、低溫冰箱等集成工作。