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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局主要應用(yong)于高校、科(ke)(ke)研院(yuan)所的教(jiao)學、科(ke)(ke)研實(shi)驗(yan)以及(ji)生(sheng)產型企(qi)業(ye)前期探索性實(shi)驗(yan)及(ji)開發新產品(pin)等(deng)。可(ke)用(yong)來制備金屬膜、有(you)機膜及(ji)掃描電鏡制樣(yang)等(deng)。
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