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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局磁(ci)(ci)控濺(jian)射(she)鍍膜(mo)系(xi)統(tong)廣(guang)泛應用于消費(fei)電子、芯片(pian)制(zhi)程、光伏等(deng)眾多領域,可制(zhi)備金(jin)屬膜(mo)、絕緣薄膜(mo)、光學(xue)薄膜(mo)、磁(ci)(ci)性薄膜(mo)等(deng)等(deng)。
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