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依托半導體高端設備研制，通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊，建立電子裝備的產業化經營格局
主要應用于鈣鈦礦太陽能電(dian)池、OLED、鋰電(dian)池、金屬電(dian)極(ji)薄膜(mo)等產(chan)(chan)業研發的專(zhuan)用設備(bei)，廣泛應用于高校、科研院所的不同材料薄膜(mo)制(zhi)備(bei)研究，也可用于生產(chan)(chan)線(xian)前(qian)期工藝試驗等。
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本系統是為鈣(gai)鈦(tai)礦(kuang)太陽能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄(bo)膜等產業研發的(de)專用設備，廣泛應用于高(gao)校、科研院所的(de)不(bu)同(tong)材(cai)料薄(bo)膜制備研究(jiu)，也可用于生產線前期工藝試驗等。
