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電子裝備產業

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電子裝備產業

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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
  •  立式甩干機

立式甩干機

主(zhu)要應用于2-8英寸(cun)半導體晶圓、掩膜(mo)板、各種(zhong)基片等材料(liao)的高(gao)潔凈(jing)度(du)沖洗及干燥工藝。

60秒人工響應

 30分鐘內(nei)給予技術(shu)咨(zi)詢答復

24小時免(mian)費提供方(fang)案設計

 

產品特點:

GASS立式甩干機是高潔凈度沖(chong)洗(xi)(xi)甩干設備(bei), 具有高潔凈沖(chong)洗(xi)(xi),高速甩干,快速烘干,效率高的(de)特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換(huan)轉子(zi)來實(shi)現。是濕法清洗(xi)(xi)工藝的(de)主要(yao)設備(bei),設備(bei)本(ben)身有單腔室(shi)(shi)和雙腔室(shi)(shi)2種(zhong)結構,體型小(xiao)運行平穩。


應(ying)用范圍:

其主要用于2-8英(ying)寸半導體晶圓、掩(yan)膜(mo)板、各(ge)種(zhong)基片(pian)等材料的(de)高潔凈度沖洗及干燥工藝。