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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
主要應用于碳化硅、氮化鋁單晶生長,6、8英寸SIC晶體生長
主要應用于半導體磷化銦、磷化鎵等材料的單晶生長。是制造II-VI族和III-V族化合物半導體材料的關鍵設備
主要應用于碲鋅鎘、碲化鎘、銻化銦等多種化合物半導體材料的單晶生長
主要應用于GaAs、CdTe等化合物材料的多晶合成設備
主要應用于高溫擴散、氧化、退火等工藝
主要應用于高溫擴散、氧化、退火等工藝
全新立式退火爐研發投入中,敬請期待!
ALD原子層沉積設備主要應用于集成電路、微電子、量子點、新能源等產業。