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電子裝備產業

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電子裝備產業

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依托半導體高端設備研制，通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊，建立電子裝備的產業化經營格局

槽式濕法清洗設備

主要應(ying)用于集成電路領域，先進的清洗工(gong)藝(yi)有效(xiao)去除了晶片表面的細微顆粒物、金屬殘(can)留、光(guang)刻(ke)膠殘(can)留物等問題。多用于硅(gui)、藍寶石、GaAs晶片清洗及烘干工(gong)藝(yi)。

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